特徴

測定範囲

0.01mm~2.0mm

最小表示

0.01μm

繰り返し精度

0.05μm(10回測定時のσ値)

手動、接触式の高精度厚さ計測器です。ウエハー、フィルム等が測定対象です。

特徴

ミクロン以下の精度をだすためには、測定対象物と定盤間の空気層までが問題になります。
その影響を無くす独自のメカを採用して、高精度の測定を実現しています。

製品案内

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